潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。
按氣流的流動(dòng)狀態(tài)分
根據氣流的流動(dòng)狀態(tài)分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室[1] :
(1) 非單向流潔凈室:以前常稱(chēng)為亂流型潔凈室,室內的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn):終端過(guò)濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口,也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上;回風(fēng)口均設在潔凈室的下部,目的是避免出現“揚灰”現象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。
(2) 單向流潔凈室:?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€(xiàn)平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
(3) 矢量潔凈室:在房間的側上角送風(fēng),采用扇形高效過(guò)濾器,也可以用普通高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側的下部設回風(fēng)口,房間的高長(cháng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級(100級)潔凈度。
潔凈室的流型基本上是上述三種類(lèi)型,但是實(shí)際應用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在局部區域(單向流部分)實(shí)現高級別的潔凈室。例如,在潔凈室中設水平單向流的“隧道”(一側敞開(kāi)),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,從而實(shí)現“隧道”部分達到5級以上潔凈度,工作臺就設在“隧道內”。
按受控粒子的性質(zhì)劃分
(1)工業(yè)潔凈室:受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。
(2)生物潔凈室:受控粒子為生物粒子的潔凈室。